国产浸没式DUV光刻机量产交付:中芯国际等三厂今年接收首批设备中国半导体制造装备迎来了一次实质性突破。 据 The Information 报道,上海一家国有支持的企业已开始量产浸没式深紫外(DUV)光刻机,并计划在今年向中芯国际、华虹半导体和长鑫存储交付首批设...硬件# DUV光刻机# 中芯国际# 华虹半导体3个月前4080